オープンタイプリニアエンコーダ

オープンタイプリニアエンコーダは高い精度が要求される機器向けに設計されています。
その主な用途は下記の通りです。

  • 半導體産業用計測裝置および製造裝置
  • PCB基板実裝裝置
  • 超精密機械
  • 高精度工作機
  • 計測機械、コンパレータ、計測顕微鏡、その他の精密測定機器
  • ダイレクトドライブ搭載機

アブソリュートエンコーダ

シリーズ説明
LICオープンタイプリニアエンコーダLICシリーズは、最長28 mの測定長において高速での絶対位置測定を可能にしています。LIDA 400と寸法形狀が同じで取付互換があります。

シリアルデータ出力エンコーダ

シリーズ説明
LIP 200インクリメンタルリニアエンコーダLIP 211とLIP 291は位置値情報をシリアルデータで出力します。正弦波の走査信號は、走査ヘッド內で內挿分割され內蔵のカウンタ機能により位置値に変換されます。全てのインクリメンタルエンコーダと同様に絶対的な基準値はスケールの原點を用いて確立します。

インクリメンタルエンコーダ

シリーズ説明
LIP

超高精度

オープンタイプリニアエンコーダLIPは、超高精度と高い繰り返し精度、そして超高分解能を特徴としています。OPTODUR位相格子目盛を干渉走査方式により測定します。

LIF

高精度

オープンタイプリニアエンコーダLIFは、SUPRADUR製法によって形成されたスケール本體を干渉走査方式により測定します。高精度と高い繰り返し精度を特徴としています。取付けも簡単です。また、リミットスイッチ機能とホーミング機能も利用できます。特別バージョンのLIF 481 Vは、最大10–5 Paまでの高真空度での使用が可能です。(別途、製品情報を參照ください)

LIDA

高速制御および長尺測定

オープンタイプリニアエンコーダLIDAは、10 m/sまでの高速制御用として設計されており、用途により取付け方法を選択することができます。METALLUR目盛のスケールには用途に応じてスチールテープ、ガラス、ガラスセラミックを使用しています。リミットスイッチ機能も搭載しています。

PP

2軸座標測定

2軸座標測定用エンコーダPPは、平面ガラスにTITANID製法(DIADUR製法を直交させる)によって形成された位相格子を干渉走査方式により測定します。そのため、同時に平面2軸の位置検出が可能です。

LIP/LIF/LIC

高真空および超高真空アプリケーション用

ハイデンハインの標準的なエンコーダは低、中真空度で使用することができます。高真空および超高真空での用途で使用するエンコーダは、真空のための特別な要件を満たす必要があります。設計と使用される部材は真空に適合させなければなりません。さらに詳しい情報は、技術情報 真空技術のためのリニアエンコーダ を參照してください。

以下のオープンタイプリニアエンコーダは、高真空および超高真空用に設計されています。

? 高真空: LIP 481 V および LIF 481 V

? 高真空: LIC 4113 V および LIC 4193 V

? 超高真空: LIP 481 U

オープンタイプリニアエンコーダ向けの新しい信號処理ASIC

ハイデンハインのオープンタイプリニアエンコーダは、超高精度の位置決めや精密な運動制御が必要な場面で使用されています。高精度への要求に長期間応えるべく、ハイデンハインは新しい信號処理ASIC HSP 1.0を開発しました。このビデオでは、新しい信號処理ASICがどのように走査信號の変動を調整し、汚れの影響を受ける前の狀態に戻すかを説明しています。